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儀器設備

儀器編號 儀器名稱 儀器狀態 異常說明
01 光學膜厚量測儀 故障 故障待報廢
02 光阻旋轉塗佈機 故障 故障待報廢
03 氧化系統裝置 故障 故障待報廢 
04 SPUTTER 濺鍍機 正常運作中  
05 熱蒸鍍機 故障 故障待維修 
06 OLED多工製程系統 正常運作中  
07 活性離子蝕刻系統RIE 故障 待報廢 
08 電漿輔助化學氣相沈積系統 故障 故障待報廢 
09 快速高溫爐 正常運作中  
10 可靠度測試機HAST 故障 加熱器故障(需回日本原廠維修)
11 光罩對準曝光系統 故障
12 半導體參數測定儀 外借中  
13 太陽能模擬系統 正常運作中  
14 電容-電壓繪圖系統CV MAP 故障  
15 金相顯微鏡 正常運作中  
16 四點探針量測儀 正常運作中  
17 全波段分光光度計 故障  
18 多源式濺鍍機 故障  
19 電子槍蒸鍍機E-GUN 正常運作中  
20 HORIBA 橢圓儀 故障 LAMP燒毀
21 螢光光譜儀 故障  
22 薄膜應力量測儀 故障  
23 KP功函數量測儀 故障  
24 霧度計 故障  

 





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