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儀器設備

儀器編號儀器名稱儀器狀態異常說明
01橢圓儀DownLaser衰減(待回原廠更新)
02CIE亮度分析儀OK 
03高溫爐OK 
04SPUTTEROK 
05熱蒸鍍機OK 
06OLEDOK 
07活性離子蝕刻機RIEOK 
08電漿輔助化學氣相沈積PECVDOK 
09快速高溫爐OK 
10可靠度分析儀Down加熱器故障(需回日本原廠維修)
11曝光機OK 
12半導體參數測定儀OK 
13太陽能模擬器OK 
14CV MAPOK 
15金相顯微鏡OK 
16四點量測OK 
17分光計OK 
18新SPUTTEROK 
19E-GUNOK 
20HORIBA 橢圓儀DownLAMP燒毀
21螢光光譜儀OK 
22霧度計OK 

 





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