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儀器設備

儀器編號 儀器名稱 儀器狀態 異常說明
01 光學膜厚量測儀 OK
02 光阻旋轉塗佈機 OK  
03 氧化系統裝置 OK  
04 SPUTTER 濺鍍機 OK  
05 熱蒸鍍機 OK  
06 OLED多工製程系統 OK  
07 活性離子蝕刻系統RIE OK  
08 電漿輔助化學氣相沈積系統 OK  
09 快速高溫爐 OK  
10 可靠度測試機HAST Down 加熱器故障(需回日本原廠維修)
11 光罩對準曝光系統 OK  
12 半導體參數測定儀 OK  
13 太陽能模擬系統 OK  
14 電容-電壓繪圖系統CV MAP OK  
15 金相顯微鏡 OK  
16 四點探針量測儀 OK  
17 全波段分光光度計 OK  
18 多源式濺鍍機 OK  
19 電子槍蒸鍍機E-GUN OK  
20 HORIBA 橢圓儀 Down LAMP燒毀
21 螢光光譜儀 OK  
22 薄膜應力量測儀 OK  
23 KP功函數量測儀 OK  
24 霧度計 OK  

 





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