儀器編號
儀器名稱
負責老師
01
教學用手動控制濺鍍系統
高至誠
02
微影製程輔助設備-塗佈機(含烘烤設備)
鄭錫恩
03
微影製程光罩曝光機
04
IV半導體電壓電流量測系統
鄒文正
05
金相顯微鏡
涂瑞清
06
晶圓切割機(Die Saw machine)
07
晶圓黏結機(Die Attach machine)
08
打線機(Wire Bond)
09
旋轉塗佈機
吳文端
10
SPUTTER 濺鍍機MKS-PR4000
11
熱蒸鍍機
12
OLED多工製程系統
許進明
13
高溫爐
14
電子槍蒸鍍機E-GUN
15
太陽能模擬系統(太陽電池特性量測系統)
無
16
四點探針量測儀
吳坤憲
17
薄膜應力量測儀